光學石英玻璃存在3種不均勻性;顆粒,條紋和折射率變化。在陰影測試中,可以清楚的顯示出顆粒和條紋用干涉法或傅科法可以測定細條紋和折射率變化,用石英為原料生產的石英玻璃有明顯的顆粒結構;用四氯化硅合成原料生產的石英玻璃沒有顆粒結構